高分解能が必要とされる用途に対応する高精度静電容量型変位センサ。特徴は、①USB／SPI／EtherCAT経由のデジタル出力、②フロントパネル上でのBNCアナログ出力、③最大4種の測定範囲に切り替え可能、④サブナノメートルレベルの高分解能、⑤最高15kHzの高速応答、⑥プローブ位置調整が容易な5段階LEDインジケータ、⑦オフセット調整による出力位置調整、⑧オフセット調整のON/OFF切り替え、⑨付属ソフトウエアで測定変位のモニタが可能、など。