高分解能非接触3次元表面形状計測システム
BW-S500/D500シリーズ

独自の走査型光干渉計測技術により、1pm(アルゴリズム上)の高さ分解能を実現する高分解能非接触3次元表面形状計測システム。特徴は、①419万画素カメラ搭載タイプ(BW-S500)と2000fps高速度カメラ搭載タイプ(BW-D500)を用意、②高い正確度と繰り返し再現精度、③2.5〜100倍までのすべての倍率で、高さ分解能1pmを実現、④スティッチングによる広領域の形状解析、⑤基本計測から高度解析まで幅広くカバーする解析ソフトウエア、など。
- 会社名
- (株)ニコンソリューションズ
- 所在地
- 東京都品川区西大井1-6-3

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