ポリキャピラリX線光学系を採用した、汎用性の高い集光レンズタイプの蛍光X線測定装置。特徴は、①非常に小さい部品や構造部分を非破壊で膜厚測定と素材分析ができ、複雑な多層膜の測定が可能、②電動式で切り替え可能な1次フィルタを採用、③独自のFP法により、校正なしで単体サンプルや多層膜を分析可能、④大型プリント回路基板用に、大型のサンプルステージを装着可能、⑤ユーザフレンドリな卓上型装置として設計、など。