高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適した12インチウエハ対応の薄型大中空径ダイレクトドライブモータ。特徴は、①大中空径340mm、薄さ30mm、②ギアなし、ゼロバックラッシュ、③高分解能で優れた位置決め精度、④独自の磁気回路設計により高トルク、⑤同社製高剛性クロスローラーベアリングを内蔵、⑥12インチウエハ関連工程（ウエハダイシングやウエハ検査など)、マイクロLEDマストランスファー工程など、高精度だけでなく大中空径や薄型／省スペース要件を求めるアプリケーションに適している、など。