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注目製品
2021.01.21
大型窓Z軸ピエゾステージ
MV-20ZD4

ピエゾアクチューエータを内蔵し、Z軸ストローク20μmを発生する大型窓Z軸ピエゾステージ。 特徴は、 ①窓口径は4インチ相当、 ②高速に応答、 ③変位センサ内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能、 ④ミリ秒高速応答、 ⑤高精度位置分解能、 ⑥アプリケーション例としてはレーザ干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決め、 など。 主な仕様は、 駆動電圧:-10~150V、 オープンループ変位量:20μm、 オープンループ分解能:0.1nm、 など。

会社名
(株)メステック
所在地
埼玉県和光市白子2-17-2