大型窓Z軸ピエゾステージ
MV-20ZD4

ピエゾアクチューエータを内蔵し、Z軸ストローク20μmを発生する大型窓Z軸ピエゾステージ。
特徴は、
①窓口径は4インチ相当、
②高速に応答、
③変位センサ内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能、
④ミリ秒高速応答、
⑤高精度位置分解能、
⑥アプリケーション例としてはレーザ干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決め、
など。
主な仕様は、
駆動電圧:-10~150V、
オープンループ変位量:20μm、
オープンループ分解能:0.1nm、
など。
- 会社名
- (株)メステック
- 所在地
- 埼玉県和光市白子2-17-2

-
真空リフロー、N2リフロー、エアリフローのことなら、エイテックテクトロン(株)にお任せください。フラックスレス真空リフロー装置販売開始!エイテックテクトロン株式会社
-
独自の加工技術とノウハウで様々な材料にチャレンジ 〜色々なアイデアを生み出して研究者をサポート〜 ムソー工業株式会社 代表取締役 尾針 徹治 氏Gichoビジネスコミュニケーションズ株式会社
-
話題のGlass PKG実装技術の動向 〜先端電子部品への応用と 最新のCuダイレクトめっきGWCについて〜 Grand Joint Technology Ltd 大西 哲也(T. Onishi)Gichoビジネスコミュニケーションズ株式会社