卓上型蒸着装置
Mebius

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置。特徴は、①学生向けの実験や教材作りに最適、②電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能、③チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能、④蒸発源はタングステンボート2個搭載、⑤排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組み合わせ、⑥操作不要のマルチ真空ゲージ採用により大気圧から高真空まで連続した圧力表示が可能、⑦チャンバはアルミ製、⑧マグネット駆動式基板シャッタ装備、⑨停電時は装置動作自動中断、⑩非常停止スイッチも装備。復旧は手動操作、など。
- 会社名
- テクノウェーブ(株)
- 所在地
- 神奈川県平塚市平塚5-7-28

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