高速で静かな操作のためのリニアモータステージ。特徴は、①20／25／75／150mmの移動距離、②1nmの解像度をもつリニアエンコーダ、③磁気カウンタバランスを備えた垂直方向のオプション、④最小増分移動20nm、⑤高精度を実現するクロスローラベアリング設計、⑥最短ストローク長：20mm、最長ストローク長：150mm、⑦最高精度：1.5μm、⑧繰り返し精度：＜0.2μm、⑨最高速度：800mm/秒、⑩最大推力：16N、耐荷重：100N、など。