ポジショナ
ECSシリーズ

光学機器や手動ステージとの組み付け用途として、高精度のピエゾ駆動技術を組み込み、剛性が高くコストを意識した設計を採用したポジショナ。特徴は、①標準仕様が0〜100℃で使用可能、②大気圧からUHV(高真空)の真空範囲用途に応じたオプションが設定できる、③クロスローラーベアリングを採用することで直動タイプの耐荷重は数kg以上となり、ピッチング、ヨーイング、ローリングのガイドスペックは0.1mrad以下となっている、④移動量50mm内でステップ送り50nmが可能、⑤オプションの位置検出センサを搭載することでクローズドループ動作で1nmの分解能を実現、など。
- 会社名
- シグマ光機(株)
- 所在地
- 東京都墨田区緑1-19-9

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