ブックタイトルメカトロニクス1月号2019年

概要

メカトロニクス1月号2019年

3 次元ステレオ方式インラインX 線検査装置、他????????????????3次元ステレオ方式インラインX線検査装置 X線ウェーハバンプ自動検査装置Six-2000／ 3000　ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置。特徴は、①ウェーハ上のはんだバンプを自動で検査、判定、②ウェーハ内部のボイド（気泡）をX 線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査、③ X 線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能、など。●（株）アイビット　川崎市高津区坂戸3-2-1ILX-1100／ 2000　実装基板のはんだ付け部をX 線を用いて自動検査するインラインタイプの検査装置。特徴は、①X線ステレオ方式でBGA など底面はんだ付け部品の検査が可能、②両面実装基板の裏面の影響を受けずに検査が可能、③ X 線ステレオ方式で3D断層検査による検査が可能、④小型基板（50×50mm）からLサイズ（510× 460mm）まで対応、⑤安全設計、X 線の取り扱い資格不要、⑥小型、省スペースでインラインX線検査が可能、⑦ QFN ／ SON などのはんだ付けが部品底面にある部品の検査に最適、など。3D-X 線ステレオ方式観察装置FX-400tRX　3D-X 線ステレオ方式により、パワーデバイスの2 層はんだ分離検査を実現する検査装置。特徴は、① 110kV ／ 0.2mA ／ 20W の高出力と、空間分解能2 μm の高解像度を達成、② 3D-X 線ステレオ方式による2 層分離検査が可能、③長寿命、100 万画素、14bit（16384 階調）X 線フラットパネルの採用によるランニングコストの低減、④コンパクトな検査機本体、⑤QRコード認識によるトレーサビリティ対応、⑥ 20 層以上の多層基板やパワーデバイス検査に最適、など。ICワイヤボンド／リードフレーム自動検査装置LFX-1000　IC内部のワイヤボンド／リードフレームの状態を、高速／高精度に全自動検査が可能なインライン方式のX 線検査装置。特徴は、①リードフレーム状態で自動搬送および自動検査し、不良個所をマーキング、②ワイヤボンドの検査だけでなく、金属異物やリードフレームピッチなどの検査も可能、③リードフレームはローダ部に直積みでセット、またはマガジンラックで供給、④各種ローダ／アンローダ部との連結が可能（オプション）、など。X 線観察装置FX-300tR　コンパクトな小型X 線装置でありながら、幾何学倍率900 倍を達成したX 線観察装置。特徴は、①良品画像を登録しておいて、現画像と比較観察が可能、②フラットパネルが60°傾斜して観察可能、③斜めからの観察には観察位置を自動追従（カメラ傾斜してもポイントがずれない）、④各種測定機能付き、⑤オプションで検査機能追加可能、⑥オプションでCT 機能とL サイズ対応可能、⑦ターゲット～試料0.5mm、ターゲット～ X 線カメラ450mm：450/0.5 ＝ 900、幾何学倍率900 倍を達成（L サイズ装置は、600 × 600mmの基板に対応）、など。X 線観察装置IX-1610　X 線焦点寸法0.25μ mの高解像度をもった解析用X 線観察装置。特徴は、①160kV／ 0.2mA／ 0.25μm開放型、マイクロフォーカスX線管採用、②X線幾何学倍率：2000 倍、③透過型ターゲットを採用、④ 280 万画素X 線デジタルI.I 管採用、⑤ 6 軸制御により高機能観察、自動検査が可能、⑥ 360°回転ターンテーブル付き、サンプル位置自動修正、⑦カメラ60°傾斜機能付き、サンプル位置自動修正、⑧自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査、など。請求番号A5053請求番号A5054請求番号A5055請求番号A5056請求番号A5057請求番号A505820 MECHATRONICS 2019.1エレクトロニクス総合（ネプコン ジャパン）