ブックタイトルメカトロニクス12月号2018年

概要

メカトロニクス12月号2018年

24 MECHATRONICS 2018.12半導体製造機器（S E M I C O N J a p a n）　-51～288℃までの様々な熱伝達用途で使用されているアレムコ･プロダクツ製銀充填型高熱伝導性グリース。特徴は、①一液型、100％固体、②高粘度のペースト状に調製されている、③施工後の流動はなく、粘性は全温度範囲にわたって安定した状態を保つ、④熱伝導率は5.58W/m･K、⑤熱交換器や電気、電子用途で使用されているヒータ類、プロセス容器や様々なヒートシンクの熱伝導性を向上するために使われている、など。641銀充填型高熱伝導性グリース（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5　測位用IC『Teseo III』を活用した利便性の高いGNSS測位モジュール。特徴は、①18ピン、9.7×10.1mm、②TeseoIII、UARTおよびI2Cインタフェース、Flashメモリ（最大16Mbit）、優れた安定性をもつ温度補償型水晶発振子、リアルタイムクロック（32kHz）が内蔵、③付属のドキュメントおよびツールには、32bitマイクロコントローラ STM32を使用、④-163dBmのトラッキング感度、⑤1.5mの測位精度（CEP（1））、⑥低消費電力、など。Teseo-LIV3FGNSS測位モジュールST マイクロエレクトロニクス（株）　東京都港区港南2-15-1　特定部位を高速／広範囲で加工し観察できるプラズマFIB-SEMシステム。特徴は、①イオンビームにXeプラズマを使用、②加工幅1mmの大面積加工を短時間で実現、③Gaイオンに比べて試料へのイオン注入や非晶質化によるダメージを大幅に低減、④高速／高精度ピエゾアパーチャー制御によるスムーズな電流制御、⑤カーテニング効果を抑えるための機能も充実、⑥mmオーダの3次元構造解析／組成解析／結晶方位解析が短時間で可能、など。S9000X ／ S8000XプラズマFIB-SEMシステム（株）東陽テクニカ　東京都中央区八重洲1-1-6　2インチウエハのφサイズの厚み設定研磨治具。特徴は、①装備のマイクロメータで設定した分だけの正確な厚み精度で研磨を行うことができる、②自動研磨で研磨量を制御したいTEMサンプル、単結晶基板、ICsection analysisに最適、③前後のアナログゲージで研磨の様子をリアルタイムに確認できる、④最大厚さ2mmに対応、⑤マイクロメータ精度：0.001mm、⑥マイクロメータ2個、専用ウエイト2個付属、など。EQ-PF-2-1-LD厚み設定研磨治具AA ポータブルパワー（株）　東京都北区王子本町1-12-3　高温環境アプリケーション用に開発した高温対応非接触赤外放射温度センサ。特徴は、①センサには同社独自設計の専用サーモパイル検出器を搭載し、熱衝撃を低減する専用ハウジング内に収納され、特別な冷却を行うことなく250℃の環境下で使用可能、② 測定温度範囲：-40～975℃、③10barまでの耐高圧仕様、④高温用センサケーブル、⑤アナログ／デジタル出力、⑥熱電対（J/K）による温度補償、⑦シリアルインタフェース、など。thermoMETER CThot高温対応非接触赤外放射温度センサ（株）センテック　大阪市淀川区西中島4-4-24　マシンの設置面積を低減するリニア搬送システム。特徴は、①製品搬送の柔軟性を実現、②製品サイズに依存しない生産効率性を実現、③ノイズを低減、④1ツールで開発／シミュレーション／試運転／診断が可能、⑤生産速度向上が可能、⑥配線の大幅な削減が可能、⑦マシンデザインの差別化、⑧ロボットとの統合が可能、⑨カーブ部の制御が可能、⑩衝突防止機能搭載、⑪最大スピード：4m/秒、⑫加速度：1G（10kg）／4G（1kg）、など。SuperTrakリニア搬送システムB&R（株）　横浜市西区高島1-1-2信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。特徴は、①薄型ステージ、半導体後工程機器、精密顕微鏡に最適、②体積型ホログラム格子により光の回析効率が非常に高く、S/N比の良い大きな出力信号が得られる、③温度、気圧、空気の乱れの影響を受けない高安定性、④取り付けが容易でメンテナンス性に優れる、⑤信号波長：250nm、⑥高精度：±1μm/420mm、⑦高速応答：700mm/s、⑧最高分解能：0.03125nm、⑨ラインナップ：原点付き、原点なし、⑩完全非接触：原理的に戻り誤差がない、⑪スケール部は青板ガラス／低膨張ガラス、⑫厚み12mmの薄型ヘッド、など。BH25-RE ／ NE反射型レーザスケール（株）マグネスケール　東京都江東区枝川3 丁目1-4HDDの発塵測定管理に最適な気中パーティクルカウンタ。特徴は、①JISB 9921適合、②5段階の粒子を同時に測定、表示（0.3／0.5／1／2／5μm以上）、③自動流量制御で操作がより簡単になっている、④本体に内蔵されたサーマルプリンタで測定結果を印字（測定値、個数濃度、平均値）を印字、⑤シリアルインタフェース機能により、コンピュータとの通信が可能、⑥D/Aコンバータインタフェース（工場オプション）の使用により、計装への直接接続が可能、など。KC-01E気中パーティクルカウンタリオン（株）　東京都国分寺市東元町3-20-41請求番号M5081 請求番号M5085請求番号M5082 請求番号M5086請求番号M5083 請求番号M5087請求番号M5084 請求番号M5088