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注目製品
2021.01.21
X線透過式2次元測定機
MVX-818

X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認やパターン座標測定により基板の膨張/収縮/変形の分析や不良解析が行えるX線透過式2次元測定機。 特徴は、 ①多層基板の製造工程の前後に測定データをフイードバックすることで品質の改善を実現する、 ②X線カメラのズーム機能により大パターンから小パターンの高精度な測定が可能、 ③X線基準穴明機で培ったX線技術により、安定した測定が可能、 ④CCDカメラも搭載しており、X線では測定できない露光フィルムなども測定ができるため、多層基板製造工程でも工程ごとの分析が可能、 など。

会社名
(株)ムラキ
所在地