ハイダイナミクスアプリケーション向けの高速チップ／チルトピエゾステージ。特徴は、①チップ／チルト角5mrad、光偏向角10mrad（0.57°）、②直交チップ、チルト軸の両軸とも同じ性能特性を発揮するパラレル制御設計によるダイナミクス／安定性／リニアリティの向上、③最大12.7mm（0.5インチ）のミラー用、④高リニアリティの位置センサ、⑤ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、など。