精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発された精密平面度測定装置。特徴は、①同社のシリコンウエハ用超精密測定装置「ナノメトロ」の技術とノウハウを応用、②平面とエッジの高精度な評価を可能にし、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形で評価することが可能、③加工から計測まで幅広いソリューションを提供する、④接触式測定子または非接触式レーザ（オプション）でワークの表面をスキャンすることで、ワーク全体の様子を豊富なユーザーインタフェースで表示できる、⑤測定ワークの材質は金属、ガラス、セラミックス、各種ウエハなどに対応、など。