ピエゾアクチューエータを内蔵し、Z軸ストローク20μmを発生する大型窓Z軸ピエゾステージ。

特徴は、
①窓口径は4インチ相当、
②高速に応答、
③変位センサ内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能、
④ミリ秒高速応答、
⑤高精度位置分解能、
⑥アプリケーション例としてはレーザ干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決め、
など。

主な仕様は、
駆動電圧：-10～150V、
オープンループ変位量：20μm、
オープンループ分解能：0.1nm、
など。