SiCパワー半導体や車載LEDなど、先端デバイスの表面トポグラフィ評価を支援する光干渉顕微鏡システム。特徴は、①1pmの高さ分解能により、平滑面の表面トポグラフィ測定を実現、②平滑面から粗面まで、光学フィルタなどを交換することなく、単一のモードで測定できる、③300×300mmストロークのXYサンプルステージ、200mmストロークのZフォーカシングステージを備え、多様なサンプルの測定に対応、④高速で高精度な膜厚測定、⑤プログラム制御による全自動測定、など。