真空および不活性ガス雰囲気中で、試料をMoヒータにて均一に加熱し、各種熱処理を行うと同時に、サーボプレスにより12.5〜50kNまでの圧力雰囲気処理が可能なプレス付き真空熱処理装置。特徴は、①拡散接合にも最適、②多機能整備の熱処理ができる、③有効均熱部：□100×100ℓ、④均熱部：1200℃±10℃、⑤到達圧力：×10⁻⁴Pa、⑥排気時間：大気圧→10⁻³Pa／30分、⑦Moヒータ／反射板を使用しているため昇温／降温が早い、⑧節電タイプ、⑨安全回路設計、など。