最大3kVのパワー半導体デバイスのウエハレベルのテストが行える、完全自動、48ピン対応のパワー半導体テストシステム。特徴は、①SiCやGaNなど、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適で、一度のプロービングで高電圧／低電圧／容量テストがすべて実行できる、②テスト時間、テストのセットアップ時間を短縮できる、③設置スペースを節約するため、所有コストの低減と研究室レベルの高電圧測定性能が実現できる、など。