電子産業界をはじめ、様々な産業向けのスクロール式ドライ真空ポンプ。特徴は、①1〜7.45Paにおいて高い排気性能を発揮、②コンパクト／低騒音／低振動、③シンプルな構造で、メンテナンス部品点数を減らしているため、パーツとメンテナンスが低コスト、④密閉性が高い、⑤ドライ空冷方式のため、オイル交換や冷却水は不要、⑥プロセス装置のL/L〜精密機器や検査／分析装置まで、既存装置の老朽化ポンプの置き換えにも最適、など。