ピエゾフレクシャドライブとDCサーボ／ボールねじドライブの利点を融合した高剛性ステージ。 特徴は、 ①ストローク：100mm、最大速度：50mm/秒、 ②再現性のあるナノメートルレベルのインクリメントを実行、 ③分解能2nmをほこるリニアエンコーダを内蔵、 ④ナノメートル精度でミリセカンドのセットリングタイム、 ⑤摩擦のないピエゾ駆動及びフレクシャデカップリングボールねじ、 ⑥バックラッシュやスティック／スリップ効果のアクティブ補償、 ⑦すぐれた速度制御、 ⑧アプリケーション例は、表面検査、顕微鏡による検査、レーザテクノロジ、 など。