ベローズの動きに追従するスパイラルヒータを内蔵し、弁開／弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できる真空バルブ。 特徴は、 ①内部ヒータにより、O リングシール面の生成物付着が減少し、長期リーク性能を維持する事が可能、 ②ベローズ表面の生成物付着が減少し、可動時の生成物脱落が少なくなりパーティクル発生が極力減少している、 ③ベローズ表面の生成物の噛み込みがなくなり、ベローズの高耐久化を実現（100万回実績）、 ④接続フランジは『ISO KF』『JIS VF/VG』『コンフラットフランジ』『ISO MF』など各種接続に対応可能、 など。