ピエゾアクチューエータを内蔵し、Z軸ストローク20μmを発生する大型窓Z軸ピエゾステージ。 特徴は、 ①窓口径は4インチ相当、 ②高速に応答、 ③変位センサ内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能、 ④ミリ秒高速応答、 ⑤高精度位置分解能、 ⑥アプリケーション例としてはレーザ干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決め、 など。 主な仕様は、 駆動電圧：-10～150V、 オープンループ変位量：20μm、 オープンループ分解能：0.1nm、 など。