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注目製品
2021.01.21
単軸/2軸傾斜ステージ
PHI-TILT

主にアライメント用に使用され、±0-5°の可動範囲に限定したニューテック社製単軸/2軸傾斜ステージ。 特徴は、 ①回転動作は小型3相ブラシレスモータで駆動、 ②完全に電磁式駆動なため、バックラッシュ/ロストモーション/ヒステリシスが生じない、 ③位置決めフィードバックには直接読み取りの半導体チップのみで構成される非接触チップエンコーダを採用、 ④分解能は0.36角度秒/.00001°(360万CPR)で、原点信号付き、 など。

会社名
日本カンタム・デザイン(株)
所在地