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注目製品
2022.07.04
半導体量産用露光装置
NSR-S631E

マルチプルパターニングに対応した7nmノードプロセスの半導体量産用露光装置。特徴は、①『バーズアイ・コントロール』/『ストリームアライメント』/『モジュラスクエアード・ストラクチャー』を搭載したストリームラインプラットフォームを採用、②新型投影レンズ、アライメントシステムのマーク検出/計測能力の強化によりMMO 2.3nm以下、スループット270枚/時以上(96shots)(オプション対応)の生産性を実現、など。

会社名
(株)ニコン
所在地
東京都港区港南2-15-3

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