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注目製品
2021.01.21
ターボ分子ポンプ排気装置
VPT-060

ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせにより、完全ドライを実現したターボ分子ポンプ排気装置。 特徴は、 ①ベース架台にターボ分子ポンプ(60L/秒)とドライ真空ポンプ(20L/分)などの必要機器をコンパクトに構成、 ②完全ドライの排気ユニット、 ③半導体/分析/検査/理化学/製薬などの各分野におけるクリーンな真空環境に最適、 ④設置スペースがコンパクト(最大寸法:W340×D340×H355mm)、 など。

会社名
アルバック機工(株)
所在地